 |
| |||
| показатель травления | |||
| показатель травления (отношение глубины травления к глубине бокового подтравливания) | |||
| коэффициент бокового подтравливания (отношение глубины травления к боковому подтравливанию) | |||
|
| |||
| показатель травления | |||
| показатель травления (отношение глубины травления к глубине бокового подтравливания) | |||
| коэффициент бокового подтравливания (отношение глубины травления к боковому подтравливанию) | |||