 |
| |||
| структурный параметр (макромолекулы) | |||
| минимальная топологическая проектная норма; минимальная топологический размер; минимальная ширина линии элемента микроструктуры (ИС); минимальная ширина линии элемента топологической структуры | |||
| топологическая проектная норма; размер элемента структуры; топологический размер (элемента структуры) | |||
| структурный параметр | |||
| Strukturgröße: 5 phrases in 2 subjects |
| Electronics | 2 |
| Microelectronics | 3 |