 |
| |||
| Planartechnik f | |||
| Planartechnologie f; Ebenentechnik f (изготовления микросхем) | |||
| Planarprozess m | |||
| Russian thesaurus | |||
| |||
| высокопроизводительный метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Основные операции планарной технологии: создание тонкой диэлектрической плёнки на поверхности кристаллического полупроводника Si, Ge, GaAs Большой Энциклопедический словарь ; удаление способом фотолитографии или электронолитографии определенных участков этой плёнки Большой Энциклопедический словарь ; введение в кристалл через незащищенные плёнкой участки донорных или акцепторных примесей легирование. В результате этих операций в кристалле образуются области с электронно-дырочными переходами. Большой Энциклопедический словарь | |||
| планарная технология: 22 phrases in 4 subjects |
| Computers | 5 |
| Electronics | 2 |
| Microelectronics | 14 |
| Technology | 1 |