| nano |
изготовленный МГФХО-методом (о материале); изготовленный методом модифицированного газофазного химического осаждения (о материале); изготовленный методом модифицированного химического осаждения из газовой фазы; изготовленный методом модифицированного химического осаждения из паровой фазы |
