 |
| Russian | English |
| система экспонирования на всё поле | full field exposure system (полупроводниковой пластины) |
| экспонирование на всем поле полупроводниковой пластины | full-wafer exposure |
| экспонирование на всем поле полупроводниковой пластины | full-field exposure |
| экспонирование на всё поле | full field exposure (полупроводниковой пластины) |