Halbleiterscheibe

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Elektronenstrahllithografie mit direkter Layoutübertragung auf eine Halbleiterscheibe	электроннолучевая литография с непосредственным переносом топологии на полупроводниковую пластину
Technik der direkten Übertragung eines Layout auf eine Halbleiterscheibe	метод непосредственного переноса топологии на полупроводниковую пластину