 |
| Russian | German |
| этап контактной печати | Kopierschritt (для получения рабочих копий с эталонных фотошаблонов) |
| этап накопления заряда | Speicherphase |
| этап обработки | Bearbeitungsschritt |
| этап процесса | Prozessschritt |
| этап процесса травления | Ätzschritt |
| этап формирования среза | Abfallphase |
| этап формирования фронта | Anstiegsphase |
| этап экспонирования | Belichtungsschritt |