DictionaryForumContacts

   English
Terms for subject Microelectronics containing plasma | all forms | exact matches only
EnglishUkrainian
arc plasmaплазма дугового розряду
bias-ECK plasma stream etcherНВЧ-реактор з електронним циклотронним резонансом для травлення плазмовим пучком
chlorinated gas plasmaхлоровмісна газова плазма
cylindrical plasma etching reactorциліндровий барабанний плазмовий реактор
electron cyclotron resonance plasmaплазма з магнітним полем в умовах електронного циклотронного резонансу
freon plasmaфреонова плазма
gas-plasma oxidizerплазмовий реактор для оксидування напівпровідникових пластин
gas-discharge plasmaгазорозрядна плазма
gaseous plasmaгазорозрядна плазма
gas-phase plasma-assisted etchingгазофазне плазмостимульоване травлення
glow-discharge plasmaплазма тліючого розряду
gradient field plasma CVDплазмохімічне осадження з парової фази в електричному полі із змінним градієнтом
hydrogen plasmaводнева плазма
ion-assisted plasma etchingтравлення в плазмі, що супроводжуєтсья іонним бомбардуванням (1–100 мТор)
laser-based plasmaлазерна плазма
low-energy plasmaнизькотемпературна плазма
low-pressure plasmaплазма низького тиску
magnetron plasma discharge sourceджерело з плазми магнетрона
microwave multipolar plasmaплазма в багатополюсній камері (катод, оточений магнітами)
microwave plasma reactive vapor depositionреактивне осадження з парової фази, що стимулює НВЧ-плазмою
multiwafer plasma oxidizerплазмовий реактор для групового оксидування напівпровідникових пластин
multiwafer plasma reactorплазмовий реактор для групової обробки напівпровідникових пластин
nonequilibrium plasmaнерівноважна плазма
oxide plasmaплазма, яка створює оксид
oxigen plasma beamпучок кисню з плазми
oxygen gas plasma etchingтравлення в плазмі кисню
oxygen plasmaкиснева плазма
oxygen plasma discharge sourceджерело кисню з кисневої плазми
oxygen plasma discharge sourceплазмове джерело кисню
oxygen-plasma oxidation techniqueметод оксидування в кисневій плазмі
oxygen-gas plasma strippingвидалення фоторезиста в кисневій плазмі
planar plasma etchплазмове травлення в планарному реакторі
planar plasma processingплазмова обробка в планарному реакторі
planar plasma etching reactorпланарний реактор для плазмового травлення
planar plasma systemпланарний реактор плазмового травлення
plasma annealingплазмовий відпал
plasma annealingвідпал в плазмовій установці
plasma anodizationплазмове анодування
plasma asherустановка для видалення фоторезисту в кисневої плазмі
plasma ashingплазмове видалення (напр. залишків фоторезисту)
plasma-assisted laser depositionплазмостимульоване лазерне осадження
plasma beamплазмовий пучок
plasma-deposited nitrideшар нітриду кремнію, сформований методом плазмового осадження
plasma desmearingплазмове очищення
plasma dopingплазмове дифузійне легування
plasma-enchanced CVDплазмохімічне плазмостимульоване хімічне осадження з парової фази
plasma etch chemistryплазмохімічне травлення
plasma etch cleaningочищення плазмовим травлення
plasma-etch machineустаткування плазмового травлення
plasma etch processплазмове травлення
plasma etcherплазмовий реактор травлення
plasma etcherреактор для плазмового травлення
plasma reactor etchingплазмове травлення
plasma-etching chamberкамера для плазмового травлення
plasma-excited oxygenкисень, збуджений в плазмі
plasma extractionекстракція плазми
plasma-laser deposition filmплівка, одержана лазерним розпилюванням в плазмі реактивного газу, плівка, одержана методом плазмо-лазерного осадження
plasma oxidationплазмове оксидування
plasma oxidationоксидування в плазмі
plasma-oxidation techniqueметод плазмового оксидування
plasma polymerizationплазмостимульована полімеризація
plasma polymerizationполімеризація в плазмі
plasma processingобробка в плазмі
plasma processorплазмовий реактор
plasma reactionреакція в плазмі
plasma reactionплазмова реакція
plasma etching reactorплазмовий реактор травлення
plasma etching reactorреактор для плазмового травлення
plasma's chemical compositionхімічний склад плазми
plasma sprayingплазмове розпилювання
plasma-spraying techniqueметод плазмового розпилювання
plasma sputteringплазмове розпилювання
plasma streamплазмовий пучок
plasma strippingплазмове видалення фоторезиста
plasma technologyплазмова технологія
plasma treatmentплазмова обробка
radial-flow plasma etching reactorплазмовий реактор травлення з радіальним потоком реактивних газів
radio-frequency plasma etchingвисокочастотне плазмове травлення
reactive gas plasmaреактивна газорозрядна плазма
RF induced plasmaіндукована плазма ВЧ-розряду
surface plasma waveповерхнева плазмова хвиля
titanium plasma nitridationнітридизація титану в плазмі
trapped plasma avalanche transit-time diodeлавинно-ключовий діод