Sign in
|
English
|
Terms of Use
Dictionary
Forum
Contacts
English
⇄
Afrikaans
Albanian
Amharic
Arabic
Armenian
Assamese
Azerbaijani
Basque
Bengali
Bosnian
Bosnian cyrillic
Bulgarian
Catalan
Chinese
Chinese Taiwan
Chinese simplified
Croatian
Czech
Danish
Dutch
English
Esperanto
Estonian
Filipino
Finnish
French
Galician
Georgian
German
Greek
Gujarati
Hausa
Hebrew
Hungarian
Icelandic
Igbo
Indonesian
Inuktitut
Irish
Italian
Japanese
Kannada
Kazakh
Khmer
Kinyarwanda
Konkani
Korean
Kyrgyz
Lao
Latvian
Lithuanian
Luxembourgish
Macedonian
Malay
Malayalam
Maltese
Maori
Marathi
Nepali
Norwegian
Norwegian Bokmål
Odia
Pashto
Persian
Polish
Portuguese
Punjabi
Quechuan
Romanian
Russian
Scottish Gaelic
Serbian Latin
Sesotho sa leboa
Sinhala
Slovak
Slovene
Spanish
Swahili
Swedish
Tamil
Tatar
Telugu
Thai
Tswana
Turkish
Turkmen
Ukrainian
Urdu
Uzbek
Vietnamese
Welsh
Wolof
Xhosa
Yoruba
Zulu
Terms
for subject
Microelectronics
containing
pattern
|
all forms
|
exact matches only
English
German
absorber
pattern
aspect ratio
Seitenverhältnis der Absorberstruktur
absorber
pattern
supported on a flat membrane
Absorberstruktur auf einer ebenen Membranfolie
(Röntgenlithografie)
acquire special alignment
patterns
spezielle Justierstrukturen erfassen
adaptable to particular
patterns
anpassungsfähig an besondere Strukturen
align a
pattern
with underlying ones
eine Struktur zu darunterliegenden justieren
align the
patterns
with respect to one another
die Strukturen zueinander justieren
alignment target
pattern
Justiermarkenstruktur
array of final-size
patterns
regelmäßige Anordnung von Strukturen endgültiger Größe
array the
patterns
die Strukturen matrixartig anordnen
artifact with
patterns
künstlich hergestelltes Objekt mit Strukturen
(Linienbreitestandard)
back
pattern
Struktur der Rückseite
back
pattern
hintere Struktur
bar test
pattern
Balkenteststruktur
binary
pattern
Bitmuster
binary
pattern
Binärmuster
blown-up portion of an IC
pattern
vergrößerter Teil einer integrierten Schaltkreisstruktur
bond the inner leads of the tape
pattern
to the bumped terminal pads of an IC chip
die inneren Enden der Folienstruktur auf die Bondhügel eines Chips bonden
bubble
pattern
Blasenstruktur
bubble
pattern
sensitivity
Blasenstrukturempfindlichkeit
build up
patterns
by repeated generation of subfields
Strukturen durch wiederholte Herstellung von Teilfeldern zusammensetzen
bulk of the
pattern
data
Masse der Strukturdaten
checkerboard
pattern
Schachbrettstruktur
checkerboard
pattern
schachbrettartige Defektteststruktur
chip
pattern
width
Chipstrukturbreite
chromium film
pattern
Chromschichtstruktur
chromium
pattern
Chrombild
chromium
pattern
Chromstruktur
circuit
pattern
image formation on semiconductor substrates
Abbildung von Schaltkreisstrukturen auf Halbleitersubstraten
circuit
pattern
of about 3.0 micrometres
Schaltkreisstruktur mit Linienbreiten von etwa 3 pm
comb test
pattern
Kammteststruktur
compose rectangles into a complex
pattern
Rechtecke zu einer komplexen Struktur zusammensetzen
computer-stored
pattern
information
computergespeicherte Strukturdaten
conductive
pattern
of a circuit
Leiterstruktur eines Schaltkreises
conductor
pattern
Leiterstruktur
conductor
pattern
Leitbahnstruktur
construct the entire chip
pattern
with the stage stationary
die gesamte Chipstruktur bei stationärem Tisch erzeugen
contact printing of the
pattern
onto the device substrate
Kontaktkopieren der Struktur auf das Bauelementsubstrat
contact-printed
pattern
kontaktbelichtete Struktur
contain the complete
pattern
for all dice at the actual size of the final features
die vollständige Struktur für alle Chips in natürlicher Größe der endgültigen Strukturelemente enthalten
(1 ×)
control bit
pattern
Steuerbitmuster
convert the designer's topography into a primary
pattern
die Entwurfstopografie in eine Primärstruktur umsetzen
copy the
pattern
data from a magnetic tape
die Strukturdaten von einem Magnetband kopieren
cross
pattern
Kreuzstruktur
data retrieval from the
pattern
memory
Informationswiedergewinnung aus dem Patternspeicher
decompose the
pattern
into a number of elements
das Belichtungsmuster in eine Reihe von Elementarfiguren zerlegen
defect measurement test
pattern
Teststruktur zur Messung der Defektdichte
defect reticle of the
pattern
Defektretikel der Struktur
defect test
pattern
Defektteststruktur
define
patterns
with geometries as small as 0.2 micrometre
Strukturen mit Elementbreiten bis zu 0,2 μm scharf abbilden
definition of resist
patterns
down to submicron dimensions
Auflösung von Resiststrukturen bis in den Submikrometerbereich
delineation of the desired
pattern
in the resist
Schreiben der gewünschten Struktur im Resist
delineation of VLSI
patterns
on silicon wafers
Schreiben von VLSI-Strukturen auf Siliziumwafern
(Elektronenstrahllithografie)
demagnified mask
pattern
verkleinerte Maskenstruktur
diffraction of light at the edges of features in the
patterns
Beugung des Lichts an den Kanten der Strukturelemente
diffraction
pattern
Beugungsstruktur
digital description of the
pattern
digitale Beschreibung der Struktur
dimensional accuracy of the developed resist
pattern
Genauigkeit der Abmessungen der entwickelten Resiststruktur
dimensional control of integrated circuit
patterns
Kontrolle der Abmessungen von Strukturen integrierter Schaltkreise
direct the beam sequentially to the elements of the chip
pattern
to be exposed
den Strahl sequentiell zu den zu belichtenden Elementen der Chipstruktur führen
direct writing of the device
pattern
with a scanning electron beam
Direktschreiben der Bauelementstruktur mit einem Rasterelektronenstrahl
dissect a
pattern
into stripes
eine Struktur in Streifen zerlegen
distortion of circles to oval
patterns
Verzerrung von Kreisen zu Ovalstrukturen
distortion
pattern
Verzeichnungsstruktur
divide the chip
pattern
into subfields
die Chipstruktur in Unterfelder teilen
divide the
pattern
into basic elements
die Struktur in Elementarfiguren zerlegen
draw a
pattern
in an electron-sensitive resist
eine Struktur in elektronenempfindlichem Resist schreiben
draw the circuit
pattern
at 500 times the true size
die Schaltkreisstruktur 500 fach vergrößert zeichnen
draw the
pattern
at ten times size
die Struktur mit zehnfacher Vergrößerung zeichnen
drive
pattern
for the output port
Steuermuster für den Ausgangskanal
electron beam
pattern
generator
Elektronenstrahlbildgenerator
electron-beam-written
pattern
elektronenstrahlbelichtete Struktur
enlarged image of a single circuit
pattern
vergrößertes Bild einer einzigen Schaltkreisstruktur
entire chip
pattern
gesamte Chipstruktur
equal line-space
pattern
Linienstruktur mit gleichem Tastverhältnis
error-bit
pattern
Fehlerbitmuster
evenly distributed
pattern
gleichmäßig verteilte Struktur
expose a
pattern
in a contact printer through a chrome mask
eine Struktur in einer Kontaktbelichtungsanlage durch eine Chromschablone belichten
expose larger
pattern
elements at each shot
mit jedem Belichtungsstempel größere Strukturelemente erzeugen
expose
patterns
deep into a thick coating of resist
Strukturen tief in eine dicke Resistschicht hinein exponieren
expose the circuit
pattern
directly on the resist-covered wafer
die Schaltkreisstruktur direkt auf den resistbeschichteten Wafer belichten
expose the full chip
pattern
at once
die ganze Chipstruktur auf einmal belichten
expose the photoresist on the surface of a wafer to the
patterns
on a reticle
das Fotoresist auf der Oberfläche eines Wafers mit den Strukturen eines Retikels belichten
feature dimension in the die
pattern
Elementgröße in der Einzelbildstruktur
fidelity in
pattern
transfer
Formtreue in der Strukturübertragung
fidelity of the
pattern
Formtreue der Struktur
final-size
pattern
Struktur endgültiger Größe
fineness of the structure of the
pattern
Detailfeinheit der Struktur
flexibility in handling the
pattern
data
Flexibilität bei der Verarbeitung der Strukturdaten
form a mask
pattern
by scanning a raster in a serpentine manner
eine Maskenstruktur durch serpentinenförmiges Abrastern erzeugen
form electrical connections between the chip and a metal
pattern
elektrische Verbindungen zwischen dem Chip und einem Metallschaltkreis herstellen
front
pattern
Struktur der Vorderseite
front
pattern
obere Struktur
front
pattern
vordere Struktur
front-to-back
pattern
registration
Strukturüberdeckung zwischen Vorder- und Rückseite
functional
pattern
Funktionsstruktur
gap in the
pattern
Abstand in der Struktur
gate level
pattern
Struktur der Gatterebene
gate
pattern
Torelektrodenstruktur
generate a mask
pattern
eine Maskenstruktur herstellen
generate the
pattern
by exposing a resist coating
die Struktur durch Belichtung einer Resistschicht erzeugen
generation of
patterns
by E-beam
Bilderzeugung durch Elektronenstrahl
generation of
patterns
by E-beam
Strukturerzeugung durch Elektronenstrahl
gold absorber
pattern
Goldabsorberstruktur
ground rules of
pattern
layout
Grundregeln des Schaltkreisentwurfs
heavy metal absorber
pattern
Schwermetallabsorberstruktur
hierarchy of
pattern
exposure
Hierarchie der Strukturbelichtung
high degree of repetition in the
pattern
hoher Wiederholgrad in der Struktur
high-density
pattern
dichtgepackte Struktur
high-fidelity
pattern
transfer
Strukturübertragung mit hoher Form- und Maßtreue
high-resolution replication of the printed resist
patterns
Vervielfältigung der belichteten Resiststrukturen mit hoher Auflösung
housekeeping information about the
patterns
Organisationsinformationen über die Schaltkreisstrukturen
IC
pattern
design
Entwurf eines integrierten Schaltkreises
image
pattern
transfer
Bildstrukturübertragung
image
patterns
on resist-coated wafers
Strukturen auf resistbeschichteten Wafern abbilden
impose a succession of
patterns
eine Folge von Strukturen aufbringen
imprint the
patterns
on the wafer
die Strukturen auf den Wafer aufbelichten
individual
pattern
Einzelbild
inner ends of the lead
pattern
innere Enden der Zwischenträgerstruktur
(die mit den Bondhügeln auf dem Halbleiterchip verbunden werden)
inner lead
pattern
Innenanschlußstruktur
inner leads of the carrier's IC interconnection
patterns
Innenanschlüsse mp/'der Zwischenträgerstrukturen für integrierte Schaltkreise
insert test
patterns
Teststrukturen einsetzen
insertion of test
patterns
Einfügung von Teststrukturen
instruction bit
pattern
Befehlsbitmuster
integrated circuit
pattern
data file
Belichtungsdatei für einen integrierten Schaltkreis
integrated circuit
pattern
etched in silicon
in Silizium geätzte Struktur eines integrierten Schaltkreises
integrity of the
pattern
Fehlerlosigkeit der Struktur
intentionally defective die
pattern
Struktur mit absichtlich eingeführten Defekten
interconnect the components according to the specified bit
pattern
die Elemente entsprechend dem definierten Bitmuster verbinden
interconnection
pattern
Verbindungsstruktur
interdigitated comb
pattern
Doppelkammstruktur
(Teststruktur)
interference fringe
pattern
Interferenzlinienbild
introduce impurities into the wafer in a particular
pattern
Fremdatome in den Wafer in einer bestimmten Struktur einbauen
ion-beam milling of the gold
pattern
Ionenstrahlätzen der Goldstruktur
island
pattern
Inselstruktur
join
patterns
in adjacent fields properly
Strukturen benachbarter Felder genau zusammensetzen
(aneinanderreihen)
jump between
pattern
features
Sprung zwischen Strukturelementen
large-area-area
pattern
großflächige Struktur
laser-annealed
pattern
generator
Laserbildgenerator
leave up to ten unexposed rectangular areas within the array for non-primary
patterns
bis zu zehn unbelichtete rechteckige Flächen innerhalb der Matrix für Teststrukturen freilassen
level
pattern
Struktur einer Ebene
line and space
pattern
Linienrasterstruktur
line
pattern
Linienstruktur
load new
patterns
into test buffers
die Testpuffer mit neuen Mustern laden
load the
pattern
memory
den Strukturspeicher laden
locate the lead frame
pattern
under the bonding tool in the x and y directions
den Anschlußkammstreifen unter dem Bondwerkzeug in x- und y-Richtung positionieren
location of the test
pattern
Ort der Teststruktur
locator
pattern
Lokalisierungsstruktur
low-density
pattern
Struktur mit niedrigem Integrationsgrad
lower level
pattern
Struktur einer unteren Ebene
1-μm
pattern
Struktur mit Linienbreiten von 1 μm
magnetic bubble
pattern
Magnetblasenstruktur
mask carrying replicated
patterns
Maske mit vervielfältigten Strukturen
mask
pattern
Schablonenstruktur
mask
pattern
Maskenstruktur
maskless
pattern
generation
maskenlose Strukturerzeugung
master
pattern
Originalstruktur
match properly the conductor
pattern
der Leiterstruktur genau entsprechen
matching overlay between
patterns
Überdekkungsübereinstimmung zwischen Strukturen
meander test
pattern
Mäanderteststruktur
metallic conductor
pattern
metallische Leiterstruktur
microcircuit
pattern
Mikroschaltkreisstruktur
microelectronic circuit
pattern
mikroelektronische Schaltkreisstruktur
microimaging of circuit
patterns
Mikroabbildung von Schaltkreisstrukturen
microinterconnect lead
pattern
Anschlußstruktur im Folienbondverfahren
minimum
pattern
line width
kleinste Elementbreite der Struktur
minimum
pattern
line width
kleinste Strukturelementbreite
minimum
pattern
width
kleinste Strukturbreite
mirror-image
pattern
of the master
Spiegelbildstruktur des Originals
misregistration of multilayer
patterns
ungenaue Überdeckung von Mehrschichtstrukturen
move from row to row in a serpentine
pattern
sich von Zeile zu Zeile serpentinenartig bewegen
1-μm-wide line and space
pattern
Linienrasterstruktur mit einem Rastermaß von 1 μm
optical
pattern
transfer
optische Strukturübertragung
order of
pattern
exposure
Reihenfolge der Strukturbelichtung
orient the
pattern
to be written with previous ones
die zu schreibende Struktur zu vorausgehenden justieren
original
pattern
Originalstruktur
outer ends of the lead
pattern
äußere Enden der Zwischenträgerstruktur
(die auf die Zinken des Anschlußkammes oder direkt auf das Substrat gebondet werden)
overlay a
pattern
on lower-level patterns eine
Struktur mit darunterliegenden Strukturen zur Deckung bringen
overlay of the next
pattern
Überdeckung der nächsten Struktur
overlay the
patterns
on the wafer
die Strukturen auf dem Wafer überdecken
overlie precisely the preceding
pattern
genau die vorausgehende Struktur überdecken
parallel transfer of a mask
pattern
to a substrate
Parallelübertragung einer Maskenstruktur auf ein Substrat
partitioning of a complex
pattern
Unterteilung einer komplexen Struktur
pattern
a reticle
ein Retikel mit dem Bildgenerator herstellen
pattern
a wafer by stepping through 200 fields
einen Wafer schrittweise durch 200 Felder strukturieren
pattern
alignment
Strukturjustierung
pattern
by electron beam
durch Elektronenstrahl strukturieren
pattern
by electron beam
elektronenlithografisch strukturieren
pattern
by photolithographic techniques
durch fotolithografische Verfahren strukturieren
pattern
change rate
Strukturänderungsrate
pattern
complexity
Strukturkomplexität
pattern
composed of rectangles
aus Rechteckstempeln zusammengesetzte Struktur
pattern
composed of rectangles
aus Rechtecken zusammengesetzte Struktur
pattern
composition
Strukturzusammensetzung
pattern
-copying machine
Strukturkopieranlage
pattern
data
Belichtungsdaten für eine Struktur
pattern
data
Strukturdaten
pattern
data computer
Strukturdatencomputer
pattern
data flow
Belichtungsdatenfluß
pattern
data handling
Strukturdatenbehandlung
pattern
data memory
Belichtungsdatenspeicher
pattern
data program
Strukturdatenprogramm
pattern
definition
Strukturauflösung
pattern
-delineated
strukturiert
(durch Elektronenstrahllithografie)
pattern
delineation
Schreiben
(mit Elektronenstrahl)
pattern
delineation
Strukturieren
pattern
delineation sequence
Strukturierungsablauf
pattern
delineation sequence
Strukturschreibfolge
pattern
density
Strukturdichte
pattern
design data input information
Eingangsdaten für den Schaltkreisentwurf
pattern
detail on the mask
Strukturdetail auf der Maske
pattern
detail on the mask
Strukturelement auf der Maske
pattern
dimension
Strukturabmessung
pattern
disconnect
Strukturunterbrechung
pattern
displacement
Strukturverschiebung
pattern
distortion
Strukturlagefehler
pattern
distortion
Strukturverzerrung
pattern
distortion on 111 wafers
Strukturverzerrung auf Wafern mit 111-Orientierung
pattern
distortion on wafers
Strukturverzerrung auf Wafern mit -Orientierung
pattern
edge
Strukturkante
pattern
edge sharpness
Strukturkantenschärfe
pattern
etching
Strukturätzen
pattern
feature
Strukturelement
pattern
fidelity
Maßtreue der Struktur
pattern
fidelity
Formtreue der Struktur
pattern
finer lines
feinere Strukturlinien abbilden
pattern
formation by microsputtering
Strukturerzeugung durch Mikrosputtering
(mit Ionenstrahl)
pattern
formed with rectangles
aus Rechtecken gebildete Struktur
pattern
generation
Strukturerzeugung
pattern
generation process
Strukturherstellungsverfahren
(während des Schreibens einer Originalschablone)
pattern
generation time
Strukturherstellungszeit
pattern
generator
Patterngenerator
pattern
generator
Bildgenerator
pattern
image
Strukturbild
pattern
images on the slice directly in the resist
Strukturen auf der Scheibe direkt im Resist herstellen
pattern
line
Strukturlinie
pattern
line
Strukturelement
pattern
line width
Strukturlinienbreite
pattern
line width
Strukturbreite
pattern
line width control
Strukturbreitenkontrolle
pattern
-matching accuracy
Strukturüberdekkungsgenauigkeit
pattern
memory
Belichtungsdatenspeicher
pattern
misregistration
Fehler in der Überdeckung zwischen den Strukturen
pattern
misregistration
Überdeckungsfehler in den Strukturen
pattern
of 20 nm wide lines
Struktur mit Linienbreiten von 20 nm
pattern
optically
fotolithografisch strukturieren
pattern
optically
optisch strukturieren
pattern
overlay accuracy
Strukturüberdeckungsgenauigkeit
pattern
placement
Strukturplazierung
pattern
placement accuracy
Strukturpositioniergenauigkeit
pattern
placement error
Strukturpositionierfehler
pattern
positional accuracy
Strukturlagegenauigkeit
pattern
positional accuracy
Strukturpositionsgenauigkeit
pattern
positional precision
Strukturlagegenauigkeit
pattern
positional precision
Strukturpositionsgenauigkeit
pattern
-recognition software
Strukturerkennungssoftware
pattern
-recognition system
Strukturerkennungssystem
pattern
-recognizer circuitry
Flächenmustererkennungsschaltung
pattern
-recognizer circuitry
Strukturerkennungsschaltung
pattern
registration error
Strukturüberdeckungsfehler
pattern
sensitive fault
datenabhängiger Maschinenfehler
(der nur bei bestimmter Anordnung von Daten auftritt)
pattern
shift
Strukturverschiebung
pattern
shift
asymmetrische Strukturverzerrung
pattern
size
Strukturgröße
pattern
the surface of the semiconductor wafer
die Oberfläche des Halbleiterwafers strukturieren
pattern
transfer capability
Strukturübertragungsmöglichkeit
pattern
transfer from the top resist to the silicon nitride layer
Strukturübertragung von der oberen Resistschicht auf die Siliziumnitridschicht z
pattern
wafers directly
die Wafer direkt struktu rieren
pattern
washout
symmetrische Strukturverzerrung
pattern
washout
Strukturverwaschung
pattern
width
Strukturbreite
pattern
with angled figures
Struktur mit schrägen Bildelementen
pattern
with feature sizes to 0.5 micron
Struktur mit Elementgrößen bis zu 0,5 Mikrometer
pattern
with submicron geometries
Struktur mit Abmessungen im Submikrometerbereich
pattern
-writing technique
Strukturschreibverfahren
pattern
yield
Einzelbildausbeute
percentage area of coverage by the
pattern
Bedeckungsgrad
(Anteil der zu belichtenden Strukturfläche an der Gesamtfläche)
periodic
pattern
Rasterstruktur
permalloy
pattern
Permalloystruktur
photocompose large area
patterns
große Strukturen durch Bildfeldmontage zusammensetzen
photocompose the
pattern
from a number of reticle images
die Struktur aus einer Reihe von Retikelbildern zusammensetzen
(montieren)
photolithographically printed
pattern
fotolithografisch belichtete Struktur
photomask
pattern
generator
Fotomaskenbildgenerator
photooptical
pattern
generator
lichtoptischer Bildgenerator
polyimide
pattern
Polyimidstruktur
pre-existing
pattern
distortion
schon vorhandene Strukturverzerrung
prefabricated microinterconnect lead
pattern
vorgefertigte Zwischenträgerform
prescribed conductor
pattern
vorgeschriebene Leitbahnstruktur
primary
pattern
Primärstruktur
primary
pattern
generation
Primärstrukturerzeugung
primary
pattern
generation with a serial electron beam
Primärstrukturerzeugung mit einem seriellen Elektronenstrahl
primary
pattern
generator
Primärstrukturschreiber
(Elektronenstrahlanlage)
project a
pattern
onto the mask
eine Struktur auf die Maske projizieren
project IC
patterns
with a 5:1 reduction ratio onto a wafer
Schaltkreisstrukturen mit 5facher Verkleinerung auf einen Wafer projizieren
random
pattern
generator
Zufallsmustergenerator
raster-type scan
pattern
Rasterstruktur
read data from a
pattern
memory
Strukturdaten aus einem Speicher lesen
realignment of
patterns
Neujustierung fvon Strukturen
record differences between adjacent chip
patterns
by size and location
Unterschiede zwischen benachbarten Chipstrukturen nach Größe und Lage registrieren
reduction projection of individual
patterns
directly onto wafers
verkleinerte Projektion von Einzelstrukturen direkt auf Wafer
register a
pattern
to underlying ones
eine Struktur mit darunterliegenden zur Überdekkung bringen
register to the front side
pattern
mit der Struktur auf der Vorderseite in Deckung bringen
registration test
pattern
Überdeckungsteststruktur
registration with the underlying
pattern
Überdekkung mit der darunterliegenden Struktur
relate the image to
pattern
on the mask
das Bild zur Struktur auf der Maske geometrisch in Beziehung setzen
repeat the
pattern
on a second level mask accurately
die Struktur auf der zweiten Maske eines Satzes genau wiederholen
repetitious
patterns
Wiederholstrukturen
repetitive
pattern
Wiederholstruktur
replica of a master
pattern
Wiedergabe einer Originalstruktur
replica of a master
pattern
Abbild einer Originalstruktur
replicate accurately the desired
pattern
die gewünschte Struktur maß- und formtreu kopieren
replicate
patterns
well into the submicron level
Strukturen bis weit in den Submikrometerbereich reproduzieren
replicate submicron
patterns
over large areas
Submikrometerstrukturen auf großen Flächen duplizieren
(reproduzieren)
replicate the
pattern
from the mask on the wafer
die Struktur von der Maske auf den Wafer abbilden
replication of high-resolution
patterns
Vervielfältigung hochaufgelöster Strukturen
reproduce
pattern
details to a greater or lesser degree of accuracy
Strukturdetails mit einem mehr oder weniger hohen Genauigkeitsgrad abbilden
reproduce
patterns
by conventional photolithography
Strukturen mit der herkömmlichen Fotolithografie reproduzieren
(duplizieren)
reproduce the absorber
pattern
die Absorberstruktur duplizieren
(wiedergeben, reproduzieren)
resist
pattern
Lackbild
resist
pattern
Resiststruktur
resistor
pattern
Widerstandsstruktur
resolution test
pattern
Auflösungsteststruktur
reticle imagery
pattern
Retikelbildstruktur
reticle
pattern
alignment
Retikeljustierung
reticle
pattern
generation
Retikelstrukturerzeugung
routing
pattern
Leitwegstruktur
scaling down of
pattern
size
maßstäbliche Verkleinerung der Strukturgröße
scan every element in the
pattern
with a finely focussed spot beam
jedes Strukturelement mit einem feinfokussierten Strahl abrastern
screen for particular failure
patterns
auf bestimmte Fehlerstrukturen hin überprüfen
(sichten)
secondary
pattern
Sekundärstruktur
shrink the
pattern
on the mask
die Struktur auf der Maske verkleinern
side of the
pattern
element
Seitenwand des Strukturelements
side of the
pattern
element
Seite des Strukturelements
slanted
pattern
Struktur mit abgeschrägten Wänden
(durch Unterätzung)
specify a
pattern
as a series of flashes of varying widths and lengths
eine Struktur als eine Serie von Belichtungsstempeln unterschiedlicher Breite und Länge spezifizieren
spidery copper
pattern
spinnenförmige Zwischenträgerstruktur aus Kupfer
stencil-like
pattern
schablonenartige Struktur
step and repeat circuit
patterns
directly on wafers
Strukturen im Step-und-Repeat-Verfahren direkt auf Wafer übertragen
step and repeat circuit
patterns
directly on wafers
Schaltkreisstrukturen im Additionsverfahren direkt auf Wafer verkleinert abbilden
step the
pattern
across the wafer
im Step-und-Repeat-Verfahren die Struktur auf dem Wafer vielfach abbilden
(reproduzieren)
step-and repeat the
pattern
verkleinerte Wiederholstrukturen anfertigen
stepped and repeated
patterns
verkleinerte Wiederholstrukturen
stitch together smaller
patterns
kleinere Strukturen zusammenfügen
(montieren)
stitching of complex
patterns
Zusammensetzen komplizierter Strukturen
straight bar
pattern
Balkenstruktur
stripe width of a
pattern
Streifenbreite einer Struktur
subdivision of a complex
pattern
Unterteilung einer komplexen Struktur
submicrometre
pattern
detail
Strukturelement unter 1 μm
submicron line width
pattern
Struktur mit Linien-breiten unter 1 pm
substitute test
patterns
into the array
Teststrukturen in das Anordnungsfeld einfügen
substructure
pattern
Struktur mit Substrukturen
subtract from the image in view the image of one adjacent
pattern
von dem betrachteten Bild das Bild einer benachbarten Struktur subtrahieren
successive
pattern
Folgestruktur
superposition on a substrate of
patterns
from several masks to a precision of 0.1 μm
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 μm
synchronized with the flow of
pattern
data
mit dem Fluß der Strukturdaten synchronisiert
tailor
pattern
size
die Strukturgröße gezielt verändern
tailor
pattern
size
die Strukturgröße entsprechend dimensionieren
tape lead
pattern
Folienzwischenträger
tape
pattern
Folienzwischenträger
target
pattern
Justiermarkenstruktur
test
pattern
Prüfmuster
(Software)
test
pattern
Teststruktur
(Testchip)
test-
pattern
drop-in
Teststruktureinfügung
test-
pattern
drop-in
Einfügung von Teststrukturen
test-
pattern
insertion
Teststruktureinfügung
test-
pattern
insertion
Einfügung von Teststrukturen
trace out a
pattern
element
ein Strukturelement schreiben
transfer the
pattern
into the wafer
die Struktur auf den Wafer übertragen
turn-around time from the receipt of
pattern
data to the delivery of masks
Verfahrenszeit vom Erhalt der Strukturdaten bis zur Maskenauslieferung
variable aspect ratio
pattern
Struktur mit variablem Seitenverhältnis
via
pattern
Kontaktlochstruktur
VLSI
pattern
Struktur für höchstintegrierten Schaltkreis
window
pattern
Fensterstruktur
write a
pattern
on a grid
eine Struktur auf ein Raster schreiben
write
patterns
at high resolution
Strukturen mit hoher Auflösung schreiben
write the
pattern
directly on wafers
Wafer direkt strukturieren
write the
pattern
directly on wafers
die Struktur direkt auf Wafer schreiben
write the
pattern
serially
die Struktur seriell schreiben
write the
patterns
directly onto the wafers to be processed
die Strukturen direkt auf die zu bearbeitenden Wafer schreiben
Get short URL