English | Russian |
master mask | оригинал фотошаблона (хромовый фотошаблон с большим числом одинаковых рисунков, которые надо получить на полупроводниковой пластине, используется для проекционной фотолитографии и получения контактным способом рабочих фотошаблонов) |
master mask set | комплект эталонных контрольных фотошаблонов (всех топологических слоёв ИС или печатной платы, совмещающихся в определённом порядке друг с другом, для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или печатных плат) |