оригинал фотошаблона(хромовый фотошаблон с большим числом одинаковых рисунков, которые надо получить на полупроводниковой пластине, используется для проекционной фотолитографии и получения контактным способом рабочих фотошаблонов)
комплект эталонных контрольных фотошаблонов(набор фотошаблонов всех топологических слоёв ИС или ПП, совмещающихся в определённом порядке друг с другом и предназначенных для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или ПП)
комплект эталонных контрольных фотошаблонов(всех топологических слоёв ИС или печатной платы, совмещающихся в определённом порядке друг с другом, для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или печатных плат)
