 |
| Subject | English | Russian |
| semicond. | delta-doping | дельта-легирование |
| media. | delta-doping | дельта-легирование (S-doping, локализация примеси в слое атомарной толщины) |
| media. | delta-doping S-doping superlattice | 5-легированная дельта-легированная асимметричная сверхрешётка |
| microel. | delta-type doping structure | структура с распределением примеси дельта-функцией |