 |
| English | Russian |
| biased DC sputtering | «смещённое» диодное распыление (удаление примесей из плёнки осуществляется путём приложения к подложке небольшого по величине напряжения смещения, отрицательного по отношению к плазме разряда) |
|
| English | Russian |
| biased DC sputtering | «смещённое» диодное распыление (удаление примесей из плёнки осуществляется путём приложения к подложке небольшого по величине напряжения смещения, отрицательного по отношению к плазме разряда) |