 |
| English | Russian |
| biased DC sputtering | "смещённое" диодное распыление (удаление примесей из плёнки осуществляется путём приложения к подложке небольшого по величине напряжения смещения, отрицательного по отношению к плазме разряда) |
| biased dc sputtering | распыление на постоянном токе со смещением |
| DC diode sputtering system | диодная система катодного распыления на постоянном токе |
| DC sputtering | диодное распыление |
| DC sputtering | двухэлектродное распыление |
| low-pressure DC sputtering | распыление на постоянном токе при низком давлении |