Three Mode Macro Inspection with High Performance Illuminators Optistation 31,32
Allows surface Macro, center backside Macro, and perimeter backside Macro inspections. Furthermore, the wide illuminator WIL-100 and the line illuminator LIL-100 have been newly developed to detect various process defects.

Три режима макроконтроля с высококачественными осветителями Optistation 31,32
Обеспечивает возможность макроконтроля поверхности, макроконтроля центральной части обратной стороны и макроконтроля периметра обратной стороны. Кроме того, для обнаружения различных дефектов обработки недавно были сконструированы новые осветители - ??? осветитель WIL-100 и линейный осветитель LIL-100.

"Широкопольный"? - плохо! Широкопольный бывает "окуляр", а не осветитель...