SUBFAB и MASKSHOP

Вопрос про maskshop я сегодня задавала, он уже уполз на вторую страницу, поэтому позволю себе его повторить:

Текст (и, соответственно, контекст) довольно общий и в этой связи довольно загадочный. В некоем НИИ проводятся измерения вибраций на разных этажах некоего здания. Что за вибрации - не объясняется. Перед четырьмя десятками страниц графиков и таблиц с цифрами скромненько сказано лишь: "In NII (название) a maskshop is planned. For this purpose vibration measurements were performed in building No. 37 on 2 different floors. (...) In order to install a modern maskshop, structural improvements have to be made".

А теперь возник ещё и "subfab". Контекст: "In need of a subfab to run the maskshop, a structural reinforcement of the existing structure of floor +4,80 m is not realistic".

Документ составляли немцы. Допускаю, что слова могут быть какой-то калькой с немецкого.

Заранее спасибо тем, кто откликнется!

mask shop, судя по этой (http://en.wikipedia.org/wiki/Mask_shop) статье, является фабрикой по производству photomasks, что в свою очередь может переводиться as simple as "фотомаска" (http://www.multitran.ru/c/m.exe?l1=1&l2=2&s=photomask). Итак, что мы имеем so far?

фабрика/лаборатория по разработке и производству фотомасок (или, чем черт не шутит, "фотомасочная лаборатория" - I told you I'm not an expert).

А не проверить ли эти термины на предмет их встречаемости на обширных просторах "поверхностного" веба (глубинный нам пока трогать незачем). "фотомасочная лаборатория" отпадает сразу (let's face it, it didn't hold much promise from the start). Теперь к сочетанию "лаборатория по разработке и производству фотомасок" . Худо-бедно. А не сказать ли просто "производство фотомасок"? --> для организации производства фотомасок на базе НИИ ..., необходимо ... Eureka!

A не SunFab ли это?
http://www.appliedmaterials.com/products/solar_sunfab_3.html