Russian ⇄ English

установка проекционного пошагового репродуцирования уменьшенных изображений схем непосредственно на полупроводниковой пластине stresses
el.	direct "step-on-а-wafer" system (без использования матричного фотошаблона); wafer stepper (без использования матричного фотошаблона)
media.	direct step-on-wafer system (без матричного фотошаблона)