| |||
heavily-doped silicon conduit (осаждается на подложку и сверху изолируется диэлектриком); silicon conduit (осаждается на подложку и сверху изолируется диэлектриком); silicon interconnection conduit (осаждается на подложку и сверху изолируется диэлектриком) | |||
silicon heavily doped conduit (осаждается на подложку и сверху изолируется диэлектриком) |