| environ. |
Plasmatechnik f (1. Общий термин, применяемый по отношению к ряду промышленных применений плазмы, напр., травление полупроводниковых плат, нанесение слоя кремния при производстве солнечных батарей, нанесение слоя диоксида кремния в ходе пассивации и активации поверхностей, плавка и сварка с помощью плазменной дуги, а также плазменная химия. 2. Плазменная технология основана на использовании маленьких, наполненных газом ячеек, испускающих свет при прохождении через них электрического тока) |
