 |
| |||
| 2D growth mode (тонких плёнок); layer-by-layer growth mode (напр., тонких плёнок); LBL growth mode (напр., тонких плёнок); two-dimensional growth mode (тонких плёнок) | |||
| механизм послойного роста: 3 phrases in 2 subjects |
| Microelectronics | 1 |
| Nanotechnology | 2 |