| |||
master mask set (набор фотошаблонов всех топологических слоёв ИС или ПП, совмещающихся в определённом порядке друг с другом и предназначенных для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или ПП) | |||
master mask set (всех топологических слоёв ИС или печатной платы, совмещающихся в определённом порядке друг с другом, для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или печатных плат) |