 |
| |||
| наноимпринтная литография (MichaelBurov); нанопечатная литография (MichaelBurov); литография по методу наноимпринтинга (вдавливание шаблона с наноразмерными элементами в слой материала) | |||
| nanoimprint lithography: 3 phrases in 1 subject |
| Nanotechnology | 3 |