| tech. |
химическое осаждение из газовой фазы с прямой инжекцией жидкости (DLICVD r313); химическое парофазное осаждение с прямой инжекцией жидкости (r313); химическое осаждение из газовой фазы с прямым впрыском жидкости (r313); химическое парофазное осаждение с прямым впрыском жидкости (r313) |
