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as-deposited
| polysilicon
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| microel. | aufgebracht; aufgedampft |
| polysilicon | |
| chem. el. | Polysilizium |
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| aufgebracht; aufgedampft (ohne nachfolgende Wärmebehandlung) | |||
| as-deposited: 4 phrases in 2 subjects |
| Alternative dispute resolution | 2 |
| Microelectronics | 2 |