 |
| |||
| ступенчатое нанесение плёнок (каждый последующий слой по площади меньше предыдущего; поперечное сечение готовой структуры имеет ступенчатую форму) | |||
| покрытие ступеньки | |||
| сглаживание ступеньки | |||
| step coverage: 3 phrases in 2 subjects |
| Electronics | 1 |
| Microelectronics | 2 |