 |
planar plasma etching
| reactor
| planar plasma etch | |
| microel. | плазменное травление в планарном реакторе |
| reactor | |
| gen. | реактор; атомный котёл; стабилизатор |
| auto. | нейтрализатор токсичности |
| chem. | химический реактор |
| el. | электрический реактор |
| phys. | атомный реактор |
| |||
| плазменное травление в планарном реакторе | |||
| planar plasma etching: 4 phrases in 2 subjects |
| Microelectronics | 2 |
| Technology | 2 |