 |
| Russian | English |
| МЭМС на основе технологии нисходящего производства | top-down technology-based microelectromechanical system |
| МЭМС на основе технологии нисходящего производства | top-bottom technology-based microelectromechanical system |
| МЭМС, созданная по технологии "сверху-вниз" | top-down technology-based microelectromechanical system (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц) |
| МЭМС, созданная по технологии "сверху-вниз" | top-bottom technology-based microelectromechanical system (основанной на разрушении массивного материала до уровня наночастиц) |
| МЭМС-технология | MEMS-technology |