 |
| English | Russian |
| HF electrodeless discharge ion source | ионный источник с безэлектродным высокочастотным разрядом |
| HF ion source | высокочастотный ионный источник (high-frequency ion source) |
|
| English | Russian |
| HF electrodeless discharge ion source | ионный источник с безэлектродным высокочастотным разрядом |
| HF ion source | высокочастотный ионный источник (high-frequency ion source) |