 |
| German | Russian |
| V-ATE-Verfahren | метод изоляции элементов ИС V-канавками |
| V-ATE-Verfahren | технология изготовления МДП-транзисторных или биполярных ИС с V-образными изолирующими канавками |
| V-ATE-Verfahren | метод изоляции элементов ИС V-образными канавками |
| V-ATE-Verfahren | метод вертикального анизотропного травления |