 |
| Russian | English |
| ионно-плазменное травление | sputter etching |
| плазменное травление | plasma etching (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) |
| плазменное травление | plasma etch (процесс травления с использованием в качестве травителя облака ионизированного газа) |
| реактивное ионно-плазменное травление | reactive sputter etching |