 |
| Russian | English |
| имплантация атомов отдачи | recoil implantation (при бомбардировке слоя имплантанта на поверхности) |
| имплантация с каналированием ионов | channeled ion implantation |
| скрытый слой оксида, образованный ионной имплантацией | buried implanted oxide |