 |
| English | Russian |
| direct writing step-and-repeat electronbeam exposure | бесшаблонное электронно-лучевое экспонирование с мультипликацией |
| step and repeat | шаговое репродуцирование (метод получения многих изображений одного и того же рисунка на фотошаблоне или пластине) |
| step and repeat | фотомультипликация |
| step-and-repeat equipment | повторитель (оптико-механическое устройство для мультиплицирования структур фотошаблонов) |