 |
| Russian | English |
| боковое подтравливание | lateral etching (точек клише) |
| боковое подтравливание | side etching (точек клише) |
| коэффициент бокового подтравливания | etch factor (отношение глубины травления к боковому подтравливанию) |
| подтравливание резиста | undercutting of resist |