 |
| Russian | English |
| держатель полупроводниковых пластин | wafer holder |
| держатель полупроводниковых пластин | slice holder |
| пластина держателя пальцев отделения | plate holder claw (in Fixing Assembly; в узле термозакрепления) |
| пластина-держатель шестерни | plate gear support |