master mask set(набор фотошаблонов всех топологических слоёв ИС или ПП, совмещающихся в определённом порядке друг с другом и предназначенных для выполнения операций фотолитографии при изготовлении ИС или ПП)
reference coupling(обеспечивающая уровень 0 дБ по шкале шумомера относительно контрольного уровня шумов при уровне испытательного тонального сигнала на входе -90 дБм)
inspection overlay(приспособление, применяемое при оптическом контроле и представляющее прозрачную пластину с позитивным или негативным изображением рисунка ПП)
