micro-electromechanical system(технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков)
micro-electromechanical systems(технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков Игорь_2006)