| Subject | Russian | English |
| nano | АСМ-литография | AFM lithography |
| nano | АСМ-литография | atomic force microscope lithography |
| nano | АСМ-литография | atomic force microscope-based lithography |
| nano | АСМ-литография | atomic force microscopy lithography |
| nano | АСМ-литография | atomic force microscopy-based lithography |
| nano | АСМ-литография | AFM-based lithography |
| nano | атомная литография | atomic lithography |
| nano | атомная литография | atom lithography |
| nano | атомная литография с применением нейтральных атомов | neutral atom lithography |
| nano | атомная наноперьевая литография | atomic nanopen lithography |
| microel. | безмасочная литография | resistless lithography |
| microel. | безмасочная литография | maskless lithography |
| microel. | бесконтактная литография | contactless lithography |
| nano | биосовместимая АСМ-литография | biocompatible AFM lithography |
| nano | биосовместимая АСМ-литография | biocompatible AFM-based lithography |
| nano | биосовместимая литография методами атомной силовой микроскопии | biocompatible AFM lithography |
| nano | биосовместимая литография методами атомной силовой микроскопии | biocompatible AFM-based lithography |
| nano | БИОСовместимая литография с применением атомного силового микроскопа | biocompatible AFM lithography |
| nano | БИОСовместимая литография с применением атомного силового микроскопа | biocompatible AFM-based lithography |
| nano | ближнепольная литография | near-field lithography |
| tech. | взрывная литография | lift-off process |
| nano | взрывная литография | explosive lithography |
| tech. | взрывная литография | lift-off |
| el. | взрывная литография | lift-off lithography |
| el. | "взрывная" литография | lift-off lithography (метод, по которому тонкая металлическая плёнка наносится на всю поверхность полупроводниковой пластины с экспонированным и частично удалённым фоторезистом, а затем при помощи растворителя удаляется неэкспонированный резист и находящийся на нем металл) |
| tech. | взрывная литография | liftoff lithography |
| tech. | взрывная литография | lift-off lithography |
| media. | «взрывная» литография | «lift-off» lithography (метод, по которому тонкая металлическая плёнка наносится на всю поверхность полупроводниковой пластины с экспонированным и частично удалённым фоторезистом, а затем при помощи растворителя неэкспонированный резист и находящийся на нём металл удаляются) |
| Makarov. | взрывная литография | liftoff |
| tech. | выполнять литографию | print |
| microel. | высоковольтная литография | high-voltage eb lithography |
| nano | высоковольтная электронная литография | high-voltage electron-beam lithography |
| nano | высоковольтная электронно-лучевая литография | high-voltage electron-beam lithography |
| nano | высокоточная литография | high-precision lithography |
| med. | вытяжная литография | drawing lithography (метод создания структур путем их вытягивания из двухмерной поверхности magiani) |
| microel. | гибридная литография | hybrid lithography |
| nano | голографическая литография | holographic lithography |
| nano | дальнепольная литография | far-field lithography |
| nano | двумерная литография | two-dimensional lithography |
| nano | двумерная литография | 2D lithography |
| microel. | двусторонняя самосовмещённая литография | self-aligned dual-surface lithography |
| nano | динамическая литография | dynamic lithography |
| mol.biol. | дип-пен литография | dip-pen lithography (методика нанесения очень маленького количества определенного вещества, в строго определенную емкость (используется для создания ДНК-чипов) Игорь_2006) |
| nano | зарядовая литография | charged lithography |
| tech. | избирательная обратная литография | selective liftoff lithography |
| tech. | избирательная обратная литография | selective lift-off |
| nano | изготавливаемый литографией | lithography-manufactured |
| nano | изготавливаемый литографией | lithography-fabricated |
| nano | иммерсионная литография | immersion lithography |
| nano | импринт-литография | imprinting lithography (вдавливание шаблона с элементами в слой материала) |
| nano | импринт-литография | imprint lithography (вдавливание шаблона с элементами в слой материала) |
| nano | интегрированная литография | integrated lithography (напр., ФИП-литография, оптическая и электронно-лучевая литографии) |
| nano | интерферометрическая голографическая литография | interferometric holographic lithography |
| nano | ионная литография | ion lithography |
| microel. | ионная литография | ion-beam lithography |
| tech. | ионно-лучевая литография | ion-beam lithography |
| nano | ионно-лучевая литография | ion lithography |
| mil., avia. | ионнолучевая литография | ion-beam lithography |
| el. | ионно-лучевая литография с шаблоном | masked ion-beam lithography |
| tech. | ионно-лучевая установка проекционной литографии | ion-beam projector |
| tech. | ионно-лучевая установка проекционной литографии | ion projector |
| nano | ионно-пучковая литография | ion lithography |
| el. | ионно-пучковая литография | ion-beam printing |
| nano | ионно-пучковая литография | ion-beam lithography |
| microel. | ИС, изготовленная с применением рентгеновской литографии | x-ray made chip |
| nano | канавка, сформированная методом литографии | lithographically-prepared trench |
| nano | капиллярная силовая литография | capillary force lithography |
| nano | квантовая литография | quantum lithography |
| nano | классическая литография | conventional lithography |
| nano | классическая литография | traditional lithography |
| nano | классическая литография | classical lithography |
| nano | коллоидная литография | colloidal lithography |
| tech. | комбинированная литография | hybrid lithography |
| microel. | контактная литография | contact process |
| tech. | контактная литография | contact printing |
| tech. | контактная литография | contact lithography |
| media. | контрастная литография | contrast-enhanced lithography |
| nano | краевая литография | edge lithography |
| microel. | лазерная литография | holographic litography |
| microel. | лазерная литография | laser-based lithography |
| tech. | лазерная литография | laser lithography |
| microel. | литография в глубоком ультрафиолете | deep-uv lithography |
| nano | литография в магнитном поле | magnetic forces-assisted lithography |
| tech. | литография для изготовления ИС с микронными размерами элементов | micrometer lithography |
| tech. | литография для изготовления ИС с микронными размерами элементов | micron lithography |
| tech. | литография для изготовления ИС с субмикронными размерами элементов | submicron lithography |
| microel. | литография для изготовления масок | masks lithography (ssn) |
| nano | литография для изготовления нанотранзисторов | nanotransistor lithography |
| nano | литография для изготовления полупроводниковых нанотранзисторов | semiconductor nanotransistor lithography |
| nano | литография для изготовления структур с размерами элементов от 1 до 100 нм | nanolithography |
| nano | литография для изготовления структур с размерами элементов от 1 до 100 нм | lithography on the nanometer scale |
| microel. | литография для молекулярной электроники | molecular-level lithography |
| microel. | литография для формирования масштабированных ИС | scaled-down lithography |
| microel. | литография для формирования элементов микронных размеров | micron lithography |
| microel. | литография для формирования элементов субмикронных размеров | submicron lithography |
| nano | литография методами атомной силовой микроскопии | atomic force microscopy lithography |
| nano | литография методами атомной силовой микроскопии | atomic force microscopy-based lithography |
| nano | литография методами атомной силовой микроскопии | AFM lithography |
| nano | литография методами атомной силовой микроскопии | AFM-based lithography |
| nano | литография методами сканирующей зондовой микроскопии | SPM lithography |
| nano | литография методами сканирующей зондовой микроскопии | scanning probe microscopy lithography |
| nano | литография методами сканирующей туннельной микроскопии | STM lithography |
| nano | литография методами сканирующей туннельной микроскопии | scanning tunnel microscopy lithography |
| nano | литография методом сканирующего зонда | scanning probe lithography |
| nano | литография методом сканирующего нанозонда | scanning nanoprobe lithography |
| nano | литография на основе биотехнологий | bio-based lithography |
| nano | литография на основе дальнего УФ-излучения | DUV-based lithography |
| nano | литография на основе дальнего УФ-излучения | deep ultraviolet-based lithography |
| nano | литография на основе монослоя | monolayer-based lithography |
| nano | литография на основе новых методов | unconventional lithography |
| nano | литография нового поколения | beyond conventional lithography |
| microel. | литография по всей пластине | wafer lithography |
| microel. | литография по всей пластине | full-wafer lithography |
| nano | литография по методу импринтинга | imprinting lithography |
| nano | литография по методу импринтинга | imprint lithography |
| nano | литография по методу наноимпринтинга | nanoimprinting lithography (вдавливание шаблона с наноразмерными элементами в слой материала) |
| nano | литография по методу наноимпринтинга | nanoimprint lithography (вдавливание шаблона с наноразмерными элементами в слой материала) |
| nano | литография по методу фотоимпринтинга | photoimprinting lithography |
| nano | литография по методу фотоимпринтинга | photoimprint lithography |
| nano | литография по нисходящему технологическому методу | top-down lithography (основанному на разрушении массивного материала до уровня наночастиц) |
| nano | литография по нисходящему технологическому методу | top-bottom lithography (основанному на разрушении массивного материала до уровня наночастиц) |
| nano | литография по технологическому методу "сверху-вниз" | top-down lithography |
| nano | литография по технологическому методу "сверху-вниз" | top-bottom lithography |
| nano | литография при излучении в крайней УФ области спектра | extreme ultraviolet lithography (вблизи 10 нм) |
| nano | литография при излучении в крайней УФ области спектра | EUV lithography (вблизи 10 нм) |
| tech. | литография, применяемая при изготовлении фотошаблонов | mask lithography |
| nano | литография прямой записи | direct writing lithography |
| microel. | литография прямым рисованием | direct growth lithography |
| microel. | литография пучками заряжённых частиц | charged-particle lithography |
| tech. | литография с высоким разрешением | high-resolution lithography |
| nano | литография с движущейся маской | moving mask lithography |
| microel. | литография с зазором | proximity printing (key2russia) |
| tech. | литография с зазором | proximity lithography (микро) |
| microel. | литография с использованием синхротронного излучения | synchrotron lithography |
| Makarov. | литография с использованием ультрафиолетового излучения | UV lithography |
| Makarov. | литография с использованием ультрафиолетового излучения | ultraviolet lithography |
| microel. | литография с использованием УФ-излучения | ultraviolet lithography |
| Makarov. | литография с использованием УФ-излучения | UV lithography |
| tech. | литография с микрозазором | proximity lithography |
| microel. | литография с мягким контактом | soft-contact lithography |
| nano | литография с нанометровым разрешением | nanolithography |
| nano | литография с нанометровым разрешением | nanoscale lithography |
| nano | литография с нанометровым разрешением | lithography on the nanometer scale |
| microel. | литография с непосредственной помодульной проекцией рисунка на пластину | direct step-on-wafer lithography (key2russia) |
| microel. | литография с непосредственным экспонированием | direct printing |
| microel. | литография с плотным контактом | hard-contact lithography |
| mil., avia. | литография с повышенной контрастностью | contrast enhanced lithography |
| nano | литография с помощью светового излучения | photolithography |
| nano | литография с помощью светового излучения | photo lithography |
| microel. | литография с последовательным пошаговым экспонированием | step printing |
| microel. | литография с последовательным шаговым экспонированием | step-and-repeat lithography |
| microel. | литография с последовательным шаговым экспонированием | step-on-wafer lithography |
| microel. | литография с последовательным шаговым экспонированием | wafer-stepper lithography |
| microel. | литография с последовательным шаговым экспонированием | stepper lithography |
| Makarov. | литография с последовательным шаговым экспонированием | wafer-stepping lithography |
| tech. | литография с пошаговым экспонированием | step-and-repeat lithography |
| tech. | литография с пошаговым экспонированием целой пластины | wafer-stepper lithography |
| microel. | литография с прецизионным совмещением | precise generation lithography |
| nano | литография с применением атомного силового микроскопа | atomic force microscope lithography |
| nano | литография с применением атомного силового микроскопа | atomic force microscope-based lithography |
| nano | литография с применением атомного силового микроскопа | AFM lithography |
| nano | литография с применением атомного силового микроскопа | AFM-based lithography |
| nano | оптическая литография с применением вакуумного УФ излучения | vacuum ultraviolet lithography |
| nano | литография с применением сканирующего зондового микроскопа | SPM lithography |
| nano | литография с применением сканирующего зондового микроскопа | scanning probe microscope lithography |
| nano | литография с применением сканирующего туннельного микроскопа | STM lithography |
| nano | литография с применением сканирующего туннельного микроскопа | scanning tunnel microscope lithography |
| tech. | литография с пропорциональным уменьшением | scaled-down lithography |
| tech. | литография с пропорциональным уменьшением изображения элементов | scaled-down lithography |
| opt. | литография с разбиением рабочего пространства на воксели | Voxel-based lithographic technique (растровая литография omel-la) |
| nano | литография с разрешением на уровне КТ | quantum dots resolution lithography |
| microel. | литография с улучшенным контрастом | contrast-enhanced lithography |
| microel. | литография с фокусируемым лучом | focused ion-beam lithography |
| tech. | литография с экспонированием целой пластины | wafer lithography (по поверхности) |
| nano | литография сверхвысокого разрешения | ultrahigh-resolution lithography |
| microel. | литография сканированием луча | beamwriter lithography |
| microel. | литография сканирования луча | beamwriter |
| Makarov. | литография со сканированием | beamwriter lithography |
| tech. | литография сфокусированным ионным пучком | focused ion-beam lithography |
| nano | литография фокусированным ионным пучком | FIB lithography |
| nano | литография фокусированным ионным пучком | focused ion beam lithography |
| media. | литография электронным лучом с изменяемой геометрией | variable-shaped ЕВ lithography |
| nano | лёгкая литография | soft lithography |
| microel. | маска для обратной литографии | lift-off stencil |
| microel. | маскирование при проекционной литографии | projection masking |
| nano | масковая литография | masking lithography |
| nano | масковая литография | mask lithography |
| microel. | масштаб уменьшения при проекционной литографии | projection reduction scale |
| polygr. | меловая литография | acrography |
| tech. | металлизация методом обратной литографии | lift-off metallization |
| tech. | металлизация, сформированная методом обратной литографии | lift-off metallization |
| nano | металлическая решётка, изготовленная литографией по методу наноимпринтинга | nanoimprint lithography-fabricated metallic grating |
| nano | метаматериал, изготовленный методами наносферной литографии | nanosperical lithography-fabricated metamaterial |
| nano | метаматериал, изготовленный методами наносферной литографии | nanosperic lithography-fabricated metamaterial |
| nano | метаматериал, изготовленный методами наносферной литографии с управлением поверхностными силами | surface forces-controlled nanosperical lithography-fabricated metamaterial |
| nano | метаматериал, изготовленный методами наносферной литографии с управлением поверхностными силами | surface forces-controlled nanosperic lithography-fabricated metamaterial |
| tech. | метод взрывной литографии | lift-off technique |
| tech. | метод взрывной литографии | lift-off method |
| tech. | метод литографии | patterning technique |
| tech. | метод литографии | litography technique |
| microel. | метод литографии | resist technique |
| microel. | метод литографии | lithographic technology |
| tech. | метод литографии | pattern-defining technique |
| nano | метод литографии | lithography team |
| tech. | метод литографии | lithographic technique |
| tech. | метод литографии | lithography technique |
| microel. | метод литографии с применением двух резистов | two-layer resist technique |
| tech. | метод обратной литографии | lift-off method |
| microel. | метод рентгеновской литографии | x-ray technology |
| microel. | метод электронно-лучевой литографии | electron-lithography method |
| gen. | микр. структурирование методом литографии | lithographically-assisted patterning |
| gen. | микр. структурирование методом литографии | lithographic patterning |
| gen. | микр. формирование рисунка методом ионной литографии | ion patterning |
| gen. | микр. формирование рисунка методом ионной литографии | ion-beam patterning |
| gen. | микр. формирование рисунка методом ионно-лучевой литографии | ion patterning |
| gen. | микр. формирование рисунка методом ионно-лучевой литографии | ion-beam patterning |
| gen. | микр. формирование рисунка методом литографии | lithographically-assisted patterning |
| gen. | микр. формирование рисунка методом литографии | lithographic patterning |
| gen. | микр. формирование рисунка методом рентгеновской литографии | X-ray patterning |
| gen. | микр. формирование рисунка методом электронной литографии | electron-beam patterning |
| gen. | микр. формирование рисунка методом электронной литографии | e-beam patterning |
| tech. | микронная литография | micron lithography |
| tech. | микронная литография | micrometer lithography |
| el. | многолучевая электронная литография | multiple-beam lithography |
| tech. | многолучевая электронная литография | electron-beam array lithography |
| Makarov. | моделирование изготовления масок и искажений при переносе рисунка для шаблонных масок при электронно-лучевой литографии | modeling mask fabrication and pattern transfer distortions for EPL stencil masks |
| mol.biol. | молекулярная литография | molecular lithography (техника присоединения специфических молекул (ДНК) к поверхностям (металлам и оксидам)] Игорь_2006) |
| microel. | мультипликация изображений в проекционной литографии | die-by-die printing |
| nano | наноимпринтная литография | nanoimprint lithography (MichaelBurov) |
| nano | наноконтакт, формируемый методом электронной литографии | e-beam lithography-fabricated nanocontact |
| nano | наноконтакт, формируемый методом электронно-лучевой литографии | e-beam lithography-fabricated nanocontact |
| nano | наноперьевая литография | nanopen lithography |
| nano | нанопечатная литография | NIL (nanoimprint lithography PitheS) |
| nano | нанопечатная литография | nanoimprint lithography (MichaelBurov) |
| nano | наноразмерное окно, формируемое методом электронной литографии | electron-beam lithography-fabricated window |
| nano | наноразмерное окно, формируемое методом электронной литографии | EBL-fabricated window |
| nano | наноразмерное окно, формируемое методом электронно-лучевой литографии | electron-beam lithography-fabricated window |
| nano | наноразмерное окно, формируемое методом электронно-лучевой литографии | EBL-fabricated window |
| nano | наноразмерное отверстие, формируемое методом электронной литографии | electron-beam lithography-fabricated hole |
| nano | наноразмерное отверстие, формируемое методом электронной литографии | EBL-fabricated hole |
| nano | наноразмерное отверстие, формируемое методом электронно-лучевой литографии | electron-beam lithography-fabricated hole |
| nano | наноразмерное отверстие, формируемое методом электронно-лучевой литографии | EBL-fabricated hole |
| nano | наносферная литография | nanosphere lithography (процесс формирования массивов упорядоченных наночастиц путем образования наноструктурированных систем из более крупных частиц. Метод включает организацию коллоидных частиц в плотноупакованные однослойные структуры на гладких подложках. При этом между сферами образуются организованные одинаковые пустоты. Затем на поверхность напыляют требуемое вещество. На заключительной стадии коллоидные частицы растворяют ssn) |
| nano | наносферная литография | nanospherical lithography |
| nano | наносферная литография | nanospheric lithography |
| nano | наносферная литография с управлением поверхностными силами | surface forces-controlled nanosperical lithography |
| nano | наносферная литография с управлением поверхностными силами | surface forces-controlled nanosperic lithography |
| nano | нанотранзисторная литография | nanotransistor lithography |
| gen. | наночастицы серебра, приготовленные методом наносферной литографии | silver nanoparticles fabricated by nanosphere lithography |
| nano | наноэлектронная литография | nanoelectronic lithography |
| nano | негативная литография | negative lithography |
| nano | неклассическая литография | unconventional lithography |
| nano | низковольтная электронная литография | low-voltage electron beam lithography |
| nano | низковольтная электронно-лучевая литография | low-voltage electron beam lithography |
| microel. | оборудование для литографии | masking equipment |
| microel. | оборудование литографии | printing equipment |
| microel. | оборудование проекционной литографии с последовательным шаговым экспонированием | wafer-stepping equipment |
| microel. | оборудование проекционной литографии с шаговым экспонированием | step-on-wafer equipment |
| tech. | обратная литография | lift-off |
| nano | обратная литография | negative lithography |
| tech. | обратная литография | lift-off process |
| media. | обратная литография | «lift-off» lithography |
| tech. | обратная литография | lift-off lithography |
| Makarov. | обратная литография | liftoff |
| microel. | обратная литография для формирования металлизированного слоя | metal lift-off |
| microel. | обратная литография для формирования т-образного затвора | t-gate lifetime |
| nano | обычная литография | conventional lithography |
| nano | обычная литография | traditional lithography |
| nano | обычная литография | classical lithography |
| nano | оптика для литографии при излучении в крайней УФ области спектра | extreme ultraviolet lithography optics (вблизи 10 нм) |
| nano | оптика для литографии при излучении в крайней УФ области спектра | EUVL optics (вблизи 10 нм) |
| tech. | оптическая литография | photoprocess |
| tech. | оптическая литография | photolithography |
| tech. | оптическая литография | photolitho |
| tech. | оптическая литография | photoprocessing |
| microel. | оптическая литография | photolithography process |
| microel. | оптическая литография | photoresist process |
| tech. | оптическая литография | optical printing |
| tech. | оптическая литография | optical projection |
| tech. | оптическая литография | photoengraving |
| tech. | оптическая литография | optical lithography |
| nano | оптическая проекционная литография | optical projection lithography |
| nano | подложка с канавками, сформированными методом литографии | substrate with lithographically-prepared trenches |
| nano | полоупроводниковая нанотранзисторная литография | semiconductor nanotransistor lithography |
| microel. | помодульный перенос изображений в проекционной литографии | die-by-die printing |
| microel. | прецизионная литография | precision lithography (ssn) |
| tech. | прецизионная литография | fine-line lithography |
| el. | прибор, изготовленный методом электронной литографии | E-beam fabricated device |
| microel. | проводить литографию | print |
| microel. | проекционная литография | projection print |
| tech. | проекционная литография | projection lithography |
| tech. | проекционная литография | projection |
| microel. | проекционная литография с позитивными резистами | positive-resist projection lithography |
| tech. | проекционная литография с уменьшением | reduction projection lithography |
| tech. | проекционная литография с уменьшением изображения | reduction projection lithography (масштаба) |
| el. | процесс изготовления ИС методами литографии | thin-film process |
| microel. | разрешающая способность процесса литографии | lithographic resolution |
| tech. | растровая ионно-лучевая литография | focused ion-beam lithography |
| tech. | растровая проекционная литография | scanning projection lithography |
| tech. | растровая электронно-лучевая литография | scanning electron-beam lithography |
| microel. | резист для литографии по металлическим плёнкам | metal etch resist |
| nano | резист для литографии по методу наноимпринтинга | nanoimprinting lithography resist |
| nano | резист для литографии по методу наноимпринтинга | NIL resist |
| nano | резист для литографии по методу наноимпринтинга | nanoimprint lithography resist |
| microel. | рентгеновская литография | x-ray lithography |
| tech. | рентгеновская литография | X-ray projection |
| libr. | рисовальщик текста в литографии | lithographer for script work |
| nano | с рисунком, сформированным методом литографии | lithographically-patterned |
| nano | СЗМ-литография | scanning probe microscopy lithography |
| nano | СЗМ-литография | SPM lithography |
| nano | СЗМ-литография | scanning probe microscope lithography |
| nano | силовая литография | force lithography |
| nano | система литографии в экстремальном ультрафиолете | EUV lithography system (MichaelBurov) |
| nano | система литографии в экстремальном ультрафиолете | EUV system (MichaelBurov) |
| nano | система литографии в экстремальном ультрафиолете | EUV (MichaelBurov) |
| nano | система литографии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне с высокой числовой апертурой | High NA EUV (MichaelBurov) |
| nano | система EUV-литографии с высокой числовой апертурой | High NA EUV (MichaelBurov) |
| microel. | сканирующая ионная литография | scanning ion-beam lithography |
| Makarov. | сканирующая литография | beamwriter lithography |
| microel. | сканирующая электронно-лучевая литография | write e-beam lithography |
| microel. | сканирующая электронно-лучевая литография | scanning electron-beam lithography |
| nano | современная литография | state-of-the-art lithography |
| nano | создание методами литографии | generation via lithography (напр., устройств) |
| nano | СТМ-литография | scanning tunnel microscopy lithography |
| nano | СТМ-литография | STM lithography |
| nano | СТМ-литография | scanning tunnel microscope lithography |
| nano | структура с рисунком, сформированным методом литографии | lithographically-patterned structure |
| nano | структура, сформированная методом литографии | lithographic pattern |
| nano | структурирование блоксополимера методом литографии | block copolymer lithographic patterning |
| tech. | субмикронная литография | submicron lithography |
| tech. | субмикронная литография | nanolithography |
| textile | сукно для литографии | lithographic felt |
| tech. | сухая литография | dry lithography |
| nano | теневая литография | shadow lithography |
| tech. | технология литографии | patterning technique |
| tech. | технология литографии | pattern-defining technique |
| tech. | технология литографии | lithographic technology |
| tech. | технология литографии | litography technique |
| tech. | технология литографии | lithographic technique |
| Makarov. | технология литографии | lithography technique |
| microel. | технология литографии без применения резисторов | resistless etching technology |
| tech. | технология прецизионной литографии | microstructure technique |
| tech. | технология прецизионной литографии | microstructure fabrication technique |
| nano | токовая литография | current lithography |
| microel. | точечная литография | dot lithography |
| nano | трёхуровневая литография | tri-level lithography |
| tech. | ультрафиолетовая литография | ultraviolet lithography |
| Makarov. | ультрафиолетовая литография | UV lithography |
| nano | управляемый литографией | lithography-controlled |
| tech. | установка для литографии | lithography system |
| tech. | установка для литографии | lithographic system |
| tech. | установка для проекционной литографии | projection printing system |
| Makarov. | установка для сканирующей проекционной литографии | scanning-projection system |
| Makarov. | установка для электронно-лучевой литографии с управлением от ЭВМ | computer-controlled electron-beam system |
| microel. | установка ионно-лучевой литографии | ion-beam system |
| microel. | установка ионно-лучевой литографии | ion-beam lithography setup |
| tech. | установка контактной литографии | contact aligner (и экспонирования) |
| tech. | установка литографии | lithography system |
| microel. | установка литографии | alignment machine |
| microel. | установка литографии | exposure system |
| microel. | установка литографии | mask aligner |
| microel. | установка литографии | wafer-printing device |
| microel. | установка литографии | printing device |
| microel. | установка литографии | lithography unit |
| microel. | установка литографии | exposer |
| media. | установка литографии | aligner (в микроэлектронике) |
| tech. | установка литографии | optical printer (фото-) |
| tech. | установка литографии | aligner (и экспонирования) |
| tech. | установка литографии | printer |
| tech. | установка литографии | lithographic system |
| microel. | установка литографии по всей поверхности пластины | wafer aligner |
| microel. | установка литографии с зазором | shadow mask aligner |
| microel. | установка литографии с зазором | proximity aligner |
| microel. | установка литографии с использованием ультрафиолетового излучения | uv exposure system |
| microel. | установка литографии с использованием УФ-излучения | uv exposure system |
| microel. | установка литографии с микрозазором | shadow projection mask aligner |
| microel. | установка литографии с мягким контактом | soft-contact aligner |
| microel. | установка литографии с плотным контактом | hard-contact aligner |
| microel. | установка литографии с последовательным шаговым экспонированием | step-and-repeat aligner |
| microel. | установка литографии с последовательным шаговым экспонированием | step-by-step aligner |
| microel. | установка литографии с последовательным шаговым экспонированием | wafer-stepping aligner |
| microel. | установка литографии с последовательным шаговым экспонированием | stepper aligner |
| microel. | установка литографии с последовательным шаговым экспонированием | site aligner |
| microel. | установка проекционной литографии | reduction projection aligner |
| polygr. | установка проекционной литографии | projection imaging aligner |
| microel. | установка проекционной литографии | preejection system |
| microel. | установка проекционной литографии | projection aligner |
| microel. | установка проекционной литографии | projection machine |
| tech. | установка проекционной литографии | projector |
| Makarov. | установка проекционной литографии | projection imaging aligner |
| microel. | установка проекционной литографии без масштабирования | 1 x projection printer |
| microel. | установка проекционной литографии с 5-кратным уменьшением изображения | 5x stepper |
| microel. | установка проекционной литографии с последовательным шаговым экспонированием | step-on-wafer projection system |
| microel. | установка проекционной литографии с последовательным шаговым экспонированием | wafer-stepper projection system |
| microel. | установка проекционной литографии с последовательным шаговым экспонированием | step-and-repeat system |
| microel. | установка прямой проекционной литографии с последовательным шаговым | direct step-on-wafer system |
| microel. | установка рентгеновской литографии | x-ray exposer |
| microel. | установка рентгеновской литографии | x-ray exposure system |
| microel. | установка рентгеновской литографии | x-ray aligner |
| microel. | установка рентгеновской литографии с последовательным шаговым экспонированием | x-ray stepper |
| Makarov. | установка сканирующей проекционной литографии | scanning-projection system |
| microel. | установка сканирующей проекционной литографии без масштабирования | one-to-one scanning system |
| microel. | установка электронно-лучевой литографии | micralign system |
| tech. | установка электронно-лучевой литографии | electron-beam aligner |
| Makarov. | установка электронно-лучевой литографии | electron beam lithography system |
| microel. | установка электронно-лучевой литографии для формирования интегральных схем | wafer scanner |
| microel. | установка электронно-лучевой литографии с векторным сканированием | vector-scan e-beam system |
| microel. | установка электронно-лучевой литографии с изменяемым сечением электронного | shaped-beam e-beam system |
| microel. | установка электронно-лучевой литографии с изменяемым сечением электронного луча | variable-shaped electron-beam exposure system |
| media. | установка электронно-лучевой литографии с изменяемым сечением электронного луча | shaped-beam e-beam system |
| microel. | установка электронно-лучевой литографии с непосредственным формированием рисунка | direct-write e-beam system |
| microel. | установка электронно-лучевой литографии с последовательным экспонированием | continuous stage motion e-beam system |
| microel. | установка электронно-лучевой литографии с точечным лучом | Gaussian-beam e-beam system |
| microel. | установка электронно-лучевой проекционной литографии | electron-beam projection system |
| microel. | установка электронно-лучевой проекционной литографии | electron-beam projector |
| microel. | установка электронно-лучевой проекционной литографии | electron projector |
| microel. | установка электронно-лучевой проекционной литографии с уменьшением изображения | reducing electron-beam projection system |
| microel. | установка электронно-лучевой проекционной литографии с уменьшением изображения | reducing electron projection system |
| nano | УФ литография | ultraviolet lithography |
| nano | УФ литография | UV lithography |
| tech. | УФ-литография | ultraviolet lithography |
| tech. | УФ- литография | UV photolithography (фото) |
| Makarov. | УФ-литография | UV lithography |
| nano | ФИП-литография | focused ion beam lithography |
| nano | ФИП-литография | FIB lithography |
| tech. | формирование изображений методом проекционной литографии | projection imaging (фото) |
| tech. | формирование изображений методом рентгеновской литографии | X-ray imaging |
| microel. | формирование изображений методом электронно-лучевой литографии | electron-beam imaging |
| microel. | формирование рисунка методом литографии | microlithographic patterning |
| microel. | формирование рисунка методом обратной литографии | lift-off pattering operation |
| microel. | формирование рисунка методом рентгеновской литографии | x-ray patterning |
| tech. | формирование рисунка методом электронно-лучевой литографии | electron-beam patterning |
| microel. | формирование рисунка рентгеновской литографией | x-ray imaging |
| nano | формируемый литографией | lithography-formed |
| nano | формируемый методом литографии | lithographically-prepared |
| nano | фотонная наноструктура, полученная методами наносферной литографии | nanospherical lithography-produced photonic nanostructure |
| nano | фотонная наноструктура, полученная методами наносферной литографии | nanospheric lithography-produced photonic nanostructure |
| nano | фотонный кристалл, изготовленный методом литографии | lithographic method-fabricated photonic crystal |
| tech. | фоторезистор фирмы "Кодак" для литографии по металлу | Kodak metal-etch resist |
| libr. | цветная литография | chromo-lithograph |
| libr. | цветная литография | chromolithograph |
| libr. | цветная литография | color lithograph |
| libr. | цветная литография | colored lithography |
| libr. | цветная литография | lithochromy |
| libr. | цветная литография | colour lithography |
| libr. | цветная литография | color lithography |
| tech. | цветная литография | chromolithograph (изделие) |
| archit. | цветная литография | chromolitograph |
| polygr. | цветная литография | lithotint |
| libr. | цветная литография | chromo |
| polygr. | цветная литография | colored lithograph |
| archit. | цветная литография | chromolitography |
| tech. | цветная литография | chromolithography |
| microel. | шаблон для ионной литографии | ion-beam stencil mask |
| microel. | шаблон для контактной литографии | contact mask (key2russia) |
| tech. | шаблон для литографии | lithographic mask |
| microel. | шаблон для обратной литографии | lift-off stencil |
| tech. | шаблон для проекционной литографии | projection mask |
| Makarov. | шаблон для рентгеновской литографии | X-ray lithography mask |
| tech. | шаблон для электронно-лучевой литографии | E-beam mask |
| Makarov. | шаблон для электронно-лучевой литографии | electron-beam mask |
| tech. | шаблон для электронно-лучевой проекционной литографии | grid mask |
| microel. | эксимерная лазерная литография | excimer laser lithography |
| tech. | экспонирование при проекционной литографии | projection exposure |
| comp. | экстремальная ультрафиолетовая литография | extreme ultraviolet lithography (dimock) |
| nano | электронная литография | EB lithography |
| nano | электронная литография | electron lithography |
| nano | электронная литография | e-beam lithography |
| el. | электронно-лучевая литография | elytron-beam lithography |
| tech. | электронно-лучевая литография | electron-beam printing |
| nano | электроннолучевая литография | e-beam lithography |
| nano | электроннолучевая литография | EB lithography |
| el. | электронно-лучевая литография | electron beam lithography |
| nano | электронно-лучевая литография | beam lithography |
| nano | электронно-лучевая литография | electron lithography |
| tech. | электронно-лучевая литография | electron-beam lithography |
| microel. | электронно-лучевая литография с векторным сканированием | vector scan electron beam lithography (ssn) |
| microel. | электронно-лучевая литография с векторным сканированием | vector scan electron-beam lithography (ssn) |
| microel. | электронно-лучевая литография с векторным сканированием | vector scanning electron beam lithography (ssn) |
| microel. | электронно-лучевая литография с векторным сканированием | vector scanning electron-beam lithography (ssn) |
| microel. | электронно-лучевая литография с векторным сканированием | vector scanning electronbeam lithography (ssn) |
| microel. | электронно-лучевая литография с векторным сканированием | vector scan electronbeam lithography (ssn) |
| tech. | электронно-лучевая литография с векторным сканированием | vector-scan electron-beam lithography |
| comp. | электроннолучевая литография с непосредственным переносом топологии на полупроводниковую пластину | electron beam direct-stepping-on-wafer lithography |
| microel. | электронно-лучевая литография с непосредственным формированием рисунка | direct-write electron-beam lithography |
| tech. | электронно-лучевая литография с программным управлением | programmable electron-beam lithography |
| microel. | электронно-лучевая литография с растровым сканированием | raster-scan electron-beam lithography |
| media. | электронно-лучевая литография с управляемыми размерами луча | variable-shaped ЕВ lithography |
| microel. | электронно-лучевая проекционная литография | electron-beam projection |
| microel. | электронно-лучевая проекционная литография | electron projection |
| tech. | электронно-лучевая проекционная литография | electron-beam projection lithography |
| microel. | электронно-лучевая проекционная литография с уменьшенным изображением | demagnifying electron-beam projection |
| microel. | электронно-лучевая проекционная литография с уменьшенным изображением | demagnifying electron projection |
| tech. | электронно-лучевая установка проекционной литографии | electron-beam projector |
| tech. | электронно-лучевая установка проекционной литографии | electron image projector |
| microel. | электронно-лучевое устройство для литографии на пластине | electron-beam slice printer (key2russia) |
| nano | электронно-пучковая литография | electron-beam lithography |
| nano | электронно-пучковая литография | electron lithography |
| nano | электронно-пучковая литография | EB lithography |
| nano | электронно-пучковая литография | e-beam lithography |
