compatible(в которой активные элементы формируются в объёме полупроводника, а пассивные элементы и межэлементные соединения наносятся в виде тонких плёнок на пассивированную поверхность полупроводниковой подложки)
combined probe of MIA flaw detector(Преобразователь, вибратор которого содержит разделенные волноводом излучающий и приёмный пьезоэлементы и имеет одну зону контакта с объектом inplus)