 |
| Russian | English |
| «взрывная» литография | «lift-off» lithography (метод, по которому тонкая металлическая плёнка наносится на всю поверхность полупроводниковой пластины с экспонированным и частично удалённым фоторезистом, а затем при помощи растворителя неэкспонированный резист и находящийся на нём металл удаляются) |
| контрастная литография | contrast-enhanced lithography |
| литография электронным лучом с изменяемой геометрией | variable-shaped ЕВ lithography |
| обратная литография | «lift-off» lithography |
| установка литографии | aligner (в микроэлектронике) |
| установка электронно-лучевой литографии с изменяемым сечением электронного луча | shaped-beam e-beam system |
| электронно-лучевая литография с управляемыми размерами луча | variable-shaped ЕВ lithography |