"взрывная" литография(метод, по которому тонкая металлическая плёнка наносится на всю поверхность полупроводниковой пластины с экспонированным и частично удалённым фоторезистом, а затем при помощи растворителя удаляется неэкспонированный резист и находящийся на нем металл)
