 |
| English | Russian |
| micro-electromechanical systems | микроэлектромеханические системы (технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков Игорь_2006) |
|
| English | Russian |
| micro-electromechanical systems | микроэлектромеханические системы (технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков Игорь_2006) |