 |
| Subject | English | Russian |
| house. | E-beam exposure | электронное облучение |
| el. | E-beam exposure | электронно-лучевое экспонирование (резиста) |
| Makarov. | E-beam exposure | электронно-лучевое экспонирование (electron-beam exposure; резиста) |
| el. | e-beam exposure system | установка электронно-лучевой литографии |