|
Subject: flitters compr. A carousel type substrate holder rotates inside the ring gap formed by the two cylinders. The substrates are completely immersed in the plasma and are coated on all sides. To minimize any contamination by flitters and particles, the substrates are positioned upright in the substrate holder.металлические лепестки, которые предложил мультитран для flitters не подходят. в общем то я догадываюсь, что в предложении говорится о "частицах и ...ещё чём то типа частиц". Но может кто нибудь знает более умное и подходящее слово? ;)
|
