The NWL-860 series provides a full range of macro inspection capabilities -- one of the features considered most essential for inspecting semiconductor patterns with progressively higher steps and ever-increasing layers. A single cassette wafer loader capable of handling 6- and 8-inch (150 and 200mm) wafers, this series of wafer loaders is not only available with pattern side macro inspection capability, but also with the ability to perform back side periphery and center macro inspections as well.

Серия NWL-860 обладает полным диапазоном функций макроконтроля, включая самые важные функции для контроля полупроводниковых элементов с progressively higher steps??? и все увеличивающимся количеством слоев. Данная серия загрузчиков пластин, представленная единым загрузчиком, позволяющим работать как с 6-дюймовыми, так и с 8-дюймовыми пластинами (150 и 200 мм), обладает способностью осуществлять макроконтроль не только верхней поверхности пластины, но также и макроконтроль периферии и центра ее обратной стороны.

Заранее благодарю!

дальше идет описание кучи этих этапов, т.е. здесь по-видимому имеются в виду как раз эти processing steps. "...для контроля полупроводниковых элементов, получаемых с использованием все увеличивающегося числа этапов обработки и с постоянно возрастающим числом слоев." ИМХО