 |
| |||
| plasma etch chemistry | |||
| plasma-chemical etching | |||
| plasma etch (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления); plasma etching (управляемое селективное удаление материала с помощью химически активных ионов и радикалов в низкотемпературной плазме низкого давления) | |||
| плазмохимическое травление: 5 фраз в 2 тематиках |
| Микроэлектроника | 2 |
| Нанотехнологии | 3 |