травление

Terms for subject Microelectronics containing травление | all forms | exact matches only

Russian	English
анизотропия травления	etching anisotropy
анизотропное травление	crystallographically sensitive etching
анизотропное травление	crystal-orientation dependent etch
анизотропное травление	vertical etching
анизотропное травление	orientation dependent etch
анизотропное травление	anisotropic etching
безмасочное лазерно-стимулированное травление	maskless laser etching
безмасочное травление	maskless etching
бугорок травления	etch hillock
бугорок травления	etch hill
возможность подбора скорости травления	etch rate selectivity
вскрытие окна травлением	etching of window (key2russia)
высокочастотное ионное травление	high-frequency ion etching
высокочастотное плазменное травление	radio-frequency plasma etching
газоплазменное травление	gas plasma etching (key2russia)
газофазное плазмостимулированное травление	gas-phase plasma-assisted etching
глубинное реактивное ионное травление	DRIE (чаще "глубокое" – Deep Reactive Ion Etching: DRIE (deep reactive ion etching (DRIE) — глубинное реактивное ионное травление или глубинное реактивное ионно-плазменное травление; sernia.ru Annette22)
горизонтальная составляющая травления	lateral etch component
дифференциальное травление	differential etching
жидкостное химическое травление	wet chemical etching (key2russia)
избирательное травление	preferential etching
изотропное травление	isotropic etching
ионное травление в двухэлектродной системе	diode etching
ионное травление в трёхэлектронной системе	triode etching
ионное травление в четырёхэлектродной системе	tetrode etching
ионно-химическое реактивное травление	CAIBE (OlgaGast)
камера для плазменного травления	plasma-etching chamber
клин травления	sidewall angle
контроль травления	etch check
конфигурация фигуры травления	etching pattern layout
лазерно-стимулированное проекционное травление	laser-induced pattern projection etching
лазерно-стимулированное травление	laser-enhanced etching
лазерно-стимулированное травление в УФ-диапазоне	uv laser etching
линия термообработки, травления и снятия фоторезиста	bake-etch-strip line
маска для травления	etch mask
маскирующий материал для травления	etchant masking material
материал, препятствующий травлению	stop-etch material
металлическая маска, сформированная травлением	metal etched mask
метод избирательного травления и заполнения канавок	etch-and-refill technique
метод изоляции с использованием вертикального анизатропного травления	V-ATC technique
метод направленного травления	directional etch method
метод остановки травления	etch-stop technique (Annette22)
многокамерная установка ионного травления	multichamber dry etcher
момент завершения травления	etch endpoint
направленное травление	preferential etching
направленное травление	directional etch
образец сразу после травления	as-affected sample
одностадийное лазерное травление	single-step laser etching
отверстие, сформированное глубоким травлением	deep-etch hole
отношение скоростей травления	etching ratio (маскирующего покрытия и полупроводника)
отсутствие травления в горизонтальном направлении	zero-encroachment
очистка плазменным травлением	plasma etch cleaning
плазменное сухое травление	plasma enhanced dry etch (eltech.com serrgio)
плазменное травление	PE (Plasma Etch/Etching pansypras)
плазменное травление в планарном реакторе	planar plasma etch
плазменный реактор травления	plasma reactor
плазменный реактор травления	plasma etching reactor
плазменный реактор травления	plasma etcher
плазменный реактор травления с радиальным потоком реактивных	radial-flow plasma etching reactor
плазмохимическое травление	plasma etch chemistry
планарный реактор для плазменного травления	planar-plasma reactor
планарный реактор для плазменного травления	planar-plasma etching reactor
планарный реактор для плазменного травления	pancake reactor
планарный реактор плазменного травления	planar plasma system
плотность ямок травления	etch pit density
проникающее травление	permeation etching
профиль травления элемента	profile of etch feature
процесс для формирования схем металлических межсоединений на пластинах с использованием химико-механической полировки взамен травления металла	damascene (NNB)
равномерность травления	etch uniformity
радикальное плазмохимическое травление	radical plasma etching
радикальное плазмохимическое травление	radical etching
радикальное травление с лазерным стимулированием	laser radical etching
размерное электрохимическое стоп-травление	capacitive electro-chemical etch-stop (применяется в целях изготовления изделий микромеханики Tigerforce)
реактивное ионное травление	reactive-ion etching
реактивное ионное травление	RIE (Reactive Ion Etch/Etching pansypras)
реактивное ионное травление	reactive ion etching
реактивное ионное травление в среде водорода	hydrogen reactive ion etching
реактивное травление	sputter etching (травление методом реактивного распыления key2russia)
реактивное травление с применением ионного пучка	ion-beam assisted reactive etching (key2russia)
реактор для плазменного травления	plasma reactor
селективное травление	preferential etching
селективность травления	etch rate selectivity
слабое травление	mild etching
сплошное травление	blanket etching
способность к обработке травлением	etchability
стенка травления	etching bias (key2russia)
стойкость к реактивному ионному травлению	reactive-ion etch resistance (key2russia)
сухое травление	dry etch (serrgio)
технология сухого травления	dry chemical etching technology
травление без подтравливания	zero-undercut etching
травление без фоторезистной маски	resistless etching
травление в боковом направлении	sideways etching
травление в газовой плазме низкого травления	low-pressure etching
травление в горизонтальном направлении	lateral etching
травление в горизонтальном направлении	sideways etching
травление в горизонтальном направлении	lateral encroaching
травление в плазме кислорода	oxygen gas plasma etching
травление в плазме с ионной бомбардировкой	ion-assisted plasma etching
травление в свч-плазме	microwave etching
травление дискретными порциями	digital etching
травление для выявления дислокаций	dislocation etching
травление для снятия поверхностных напряжений	stress relief etch
травление кислотой	acid etching
травление кислотой	acid etch
травление контактного окна	etching of window (key2russia)
травление контактных окон	window etching (key2russia)
травление методом погружения	dip etch
травление методом реактивного распыления	sputter-etch technique (key2russia)
травление методом реактивного распыления	reactive sputter etching (key2russia)
травление, обеспечивающее получение ровных острых краёв	sharp etching
травление окна	etching of window (key2russia)
травление оксида	oxide etch
травление с постоянной скоростью	steady-state etching
травление с регенерацией травителя	regenerative etching
травление, стимулированное излучением в области вакуумного ультрафиолета	vuv-assisted etching
травление, стимулированное излучением в области вакуумного ультрафиолета	vacuum ultra-violet-assisted etching
травление, стимулированное синхротронным излучением	synchrotron radiation-assisted etching
травление, стимулированное электронным лучом	electron-beam induced etching
травление щёлочью	caustic etch
трёхэлектродная установка ионного травления	triode etcher
удаление травлением	etch removal
установка для жидкостного травления	wet etch processor
установка для травления и промывки полупроводниковых пластин	etchrinse processor
установка для травления кислотой	acid etcher
установка ионного травления	ion etching station
установка магнитронного типа для ионного травления	magnetron ion etcher
установка струйного травления	spray etcher
установка травления	etching system
установка травления в парах плавиковой кислоты	hf fumer
установка травления и снятия оксида	etchstrip system
установка травления с кассетной загрузкой и выгрузкой	cassette-to-cassette etcher
установка травления с ультразвуковой активацией	ultrasonic etcher
устройство для задубливания фоторезиста перед травлением	pre-etch hardbaker
фигура травления	ed pattern
фотовозбуждаемое травление	photoexcited etching
фотостимулированное травление	photo-initiated etching
фотостимулированное травление	light-induced etching
фотостимулированное химическое сухое травление	photo-enhanced chemical dry etching
фотохимическое травление	photochemical etching
химическая полировка травлением	etch polishing
химически стимулированное травление	chemically assisted etching
четырёхэлектродная установка ионного травления	tetrode etcher
электрохимическое травление	anode etching
электрохимическое травление с оптическим стимулированием	photoelectrochemical etching

Get short URL