1) образование вакансии в одной из внутренних оболочек атома при его облучении напр., быстрыми электронами;

2) заполнение этой вакансии электроном одной из вышележащих оболочек этого же атома и одновременный вылет др. электрона оже-электрона с этой или еще с более высоколежащей оболочки. По энергии оже-электронов можно установить электронную структуру участвующих в оже-эффекте атомов. Большой Энциклопедический словарь